本文標(biāo)題："被測(cè)對(duì)象類型的不同，要選取不同的照明方案"
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被測(cè)對(duì)象類型的不同，要選取不同的照明方案
依據(jù)被測(cè)對(duì)象類型的不同，要選取不同的照明方案。在單色光
照明下基于相位探測(cè)的典型儀器可用于測(cè)量光學(xué)光滑表面。對(duì)于單
色條紋的分析將在相移干涉測(cè)量那一章探討。對(duì)于間斷點(diǎn)多、粗糙
程度高、高度大的測(cè)量對(duì)象要采用交替的照明方案和條紋分析。本
章主要探討單色照明系統(tǒng)下擴(kuò)展測(cè)量范圍的技術(shù)，不過首先我們要
描述一下干涉物鏡的性質(zhì)和給定物鏡條件下可測(cè)樣本的屬性。
(1)干涉物鏡與測(cè)量對(duì)象參數(shù)的匹配在使用光學(xué)輪廓儀時(shí)，要
為某一特定測(cè)量選擇干涉物鏡，首先需要確定樣本的一些參數(shù)，并
對(duì)其特性進(jìn)行分解。要確定最小橫向特征、最大高度范圍、測(cè)量的
最大斜率及將要測(cè)量的區(qū)域。物鏡(加上中間的光學(xué)元件)的放大倍
數(shù)和CCD的尺寸決定了可測(cè)量區(qū)域的大小，物鏡的NA和照明類型決
定了測(cè)量對(duì)象的哪些特征可以被測(cè)到。下面討論的一些物鏡特性也
適用于共焦輪廓儀中使用的物鏡。
(2)橫向分辨力 為了確定樣本的哪些橫向特征可以分辨，首
先要知道系統(tǒng)的橫向分辨力。基于顯微鏡系統(tǒng)的橫向分辨力主要取
決于顯微鏡物鏡的光學(xué)分辨力。只有在使用低放大倍數(shù)物鏡的系統(tǒng)
中，才會(huì)受限于探測(cè)器的采樣。光學(xué)分辨率依賴于波長(zhǎng)和顯微鏡物
鏡的數(shù)值孔徑。
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