本文標題："高精度加工三維微裝配微小元件檢測金相顯微鏡"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------
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微機電系統(tǒng)是建立在集成電路工藝基礎上的新興產(chǎn)業(yè)，在它的
發(fā)展初期，主要是利用新的理論制造各種傳感器和生物操作用微探
針，包括壓力傳感器、速度和加速度傳感器、微陀螺、微探針陣列
等。后來出現(xiàn)的LIGA技術、各種電化學加工技術、超高精度加工技
術等，拓展了微機電系統(tǒng)的種類和應用領域，特別是在生物醫(yī)學領
域中的應用。相對于傳統(tǒng)的微器件制造方法，這些技術最大優(yōu)點是
能制造出真正的三維微器件，而其最大不足是機械器件不能與
控制電路做在一起，構成理想的微機電系統(tǒng)。要構成微機電系統(tǒng)，
必須采用微裝配技術，將微器件裝配在一起。
微裝配與傳統(tǒng)的裝配并不一樣，這是因為器件的尺寸減小后，
它的力學性質發(fā)生了變化。比如，傳統(tǒng)的裝配中，零件的重力占主
導地位，它具有自定位能力，而微機電系統(tǒng)中的器件，重力的影響
顯著減小，靜電力、表面張力和范德化力占統(tǒng)治地位。這些力不僅
力學性質不清楚，而且會破壞器件的定位關系。如在抓一個這
樣的器件過程中，手爪沒有和器件接觸時，在靜電力和表面張力作
用下，器件會吸附在手爪上，而當手爪張開時，器件也不會自由釋
放。由于這些力的存在，使得微裝配存在很大的困難，必須采用新
的技術和理論加以克服。
由于微裝配與微操作是一個新興的研究領域，許多理論和技術
仍處于研究中，限于個人的理解和知識面，
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