本文標(biāo)題："SEM電子顯微鏡測試樣品-放大倍率和圖像分辨率"
發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------
人瀏覽過-----時間：2014-6-25 5:15:23
SEM電子顯微鏡測試樣品-放大倍率和圖像分辨率
SEM用來觀察材料的表面結(jié)構(gòu)，其分辨率小于2nm.因此.它能夠用來測
定粒子尺寸、形狀和分散度，也可以通過X射線信號測定樣品的化
學(xué)組成和元素分布。
與TEM不同，SEM測試中樣品尺度純粹受樣品室物理尺寸的限制，而
不是透鏡和孔徑。典型的樣品臺直徑在10~ 40mm范圍內(nèi)，當(dāng)然樣品可以
比它薄得多。
一般而言.觀察塊狀樣品和薄膜狀或分散狀的樣品都一樣容易。除了要符
合能常規(guī)成像的樣品應(yīng)具有的穩(wěn)定性標(biāo)準(zhǔn)外.不導(dǎo)電的樣品必需包搜一層
導(dǎo)電膜(碳、金、鉑或把)。這樣可以防止電荷在樣品上的聚集而使相關(guān)
圖像扭曲
主要的可調(diào)的儀器操作條件有加速電壓、掃描速度、光斑大小/電子束電流、
光闌大小、工作距離和傾斜度.
SEM中用的加速電壓比TEM低.典型值在1kV到30kV之間。電壓的選
擇取決于材料的性質(zhì)、需要的放大倍率和圖像分辨率。一般來說，高分辨率的工
作需要較小的光束立徑，因此需要用高的加速電壓來產(chǎn)生較強(qiáng)的發(fā)射信號以便成
像。不過，SEM中高加速電壓會導(dǎo)致電子束對樣品的穿透厚度增加
(比如AlSkeV-lnm, 30keV-10nm)。圖像信息更大程度地來自樣品更深處，因此造
成表面細(xì)節(jié)丟失。樣品損傷機(jī)會加大
后一篇文章：觀測脂肪結(jié)構(gòu)用的光學(xué)顯微鏡-樣品制備 »
前一篇文章：« 圖像與樣品SEM中的透鏡放大圖像而是用來會聚電子束
tags:技術(shù),材料學(xué),光學(xué),金相顯微鏡,上海精密儀器,
SEM電子顯微鏡測試樣品-放大倍率和圖像分辨率,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應(yīng)
本頁地址：/gxnews/1710.html轉(zhuǎn)載注明
本站地址：/
http://www.xianweijing.org/