本文標題：" 精細零件測量用便攜式光學顯微鏡制造廠商"
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精細零件測量用便攜式光學顯微鏡制造廠商
顯微干涉輪廓儀結(jié)構(gòu)的主要要求，是放被檢零件的工作臺和干涉
頭聯(lián)結(jié)的剛性要好，必須保證干涉條紋對振動的靈敏度為最小。在調(diào)
整機構(gòu)方面，三個相互垂直方向精密移動被檢表面13和繞其兩軸轉(zhuǎn)動，
要求有很靈巧的機構(gòu)設計。另外，為了使兩路相干光束的光程相等，
沿光軸方向精密移動物鏡和棱鏡也值得注意。
帶有光譜分光鏡的顯微干涉輪廓儀為了檢驗外圓磨表面的微觀幾
何形狀（其加工痕跡是不規(guī)則的），
小型光譜分光鏡或光譜目鏡代替干涉顯微鏡的目鏡，并在被檢表
面的像平面上，安放一個狹縫光闌。按這種光學系統(tǒng)設計了顯微干涉
輪廓儀
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精細零件測量用便攜式光學顯微鏡制造廠商,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應
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